力晶科技公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I571626專利 |
| 公告日期 : 2017-03-31 |
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:具有奈米腔的集成生物感測器及其製作方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/02/213.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 118,4004.其他應敘明事項:一種生物感測器，包含有一基底，其上設有一光感測區。在基底上設有一第一介電層、一擴散阻擋層、一第二介電層。第二介電層中設有一溝槽凹陷結構，其內設有一濾光材料層，被一上蓋層封蓋住。上蓋層上設有一第一鈍化層以及一奈米腔結構層，其中於奈米腔結構層中，設有一奈米腔。於奈米腔的側壁及底部設有一第二鈍化層。<摘錄公開資訊觀測站> |
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