力晶科技公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I565557專利 |
| 公告日期 : 2017-03-31 |
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:化學機械研磨製程2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/01/113.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 68,2004.其他應敘明事項:本發明是揭露一種化學機械研磨製程。首先提供一化學機械研磨機台，且該機台包含一研磨墊。然後進行一暖機步驟，其中該暖機步驟包含提供一研磨漿料並且利用一研磨器對該研磨墊進行一刮除研磨顆粒之動作。之後再進行一研磨步驟研磨一產品晶圓。<摘錄公開資訊觀測站> |
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